[지디룩인] 초미세공정 시대 여는 EUV 기술

ASML의 EUV 노광장비. (사진=ASML) 삼성전자가 초미세 반도체 양산을 위해 극자외선 노광 장비를 적극 도입하고 있다. 메모리에 이어 비메모리 분야에서도 세계 1위 업체로 도약하기 위함이다. 특히, 파운드리(반도체 수탁생산) 사업에서는 EUV를 통해 시장 1위 업체인 TSMC 뒤를 바짝 추격하고 있다. EUV(Extreme Ultraviolet)는 가시광선보다 파장 길이가 짧은 광원(13.5nm 파장)을 사용해 웨이퍼(반도체 원재료)에 회로패턴을 새기는 반도체 노광장비를…