테스, 시스템반도체 공략 ‘교두보’…美·日 장비 국산화 ‘잰걸음’

– GPE 장비, 납품 임박…하드마스크 스트립 장비, 개발 중 [디지털데일리 김도현기자] 반도체 장비업체 테스가 시스템반도체 분야로 영역을 넓힌다. 매출 다변화 차원이다. 국내 반도체 업계의 시스템반도체 강화 흐름을 따라간다. 7일 업계에 따르면 테스는 가스페이즈에칭(GPE) 장비 상용화를 앞두고 있다. GPE 장비는 불화수소 가스를 사용 웨이퍼 표면 산화막만 선택적으로 깎아내는 제품이다. 산화막은 웨이퍼 보호막으로 회로 간 누설전류를…

테스, 시스템반도체 공략 ‘교두보’…美·日 장비 국산화 ‘잰걸음’

– GPE 장비, 납품 임박…하드마스크 스트립 장비, 개발 중 [디지털데일리 김도현기자] 반도체 장비업체 테스가 시스템반도체 분야로 영역을 넓힌다. 매출 다변화 차원이다. 국내 반도체 업계의 시스템반도체 강화 흐름을 따라간다. 7일 업계에 따르면 테스는 가스페이즈에칭(GPE) 장비 상용화를 앞두고 있다. GPE 장비는 불화수소 가스를 사용 웨이퍼 표면 산화막만 선택적으로 깎아내는 제품이다. 산화막은 웨이퍼 보호막으로 회로 간 누설전류를…